光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备，用于生产芯片、封装、 LED 制造领域，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机的种......
