很多人都知道半导体工艺中光刻机是最核心的,因为它决定了半导体工艺的技术水平,而且成本能占到整个芯片的1/3。在进入7nm节点之后,光刻机也需要升级到EUV光刻机,目前仅有荷兰ASML公司能造,该......